掺硼主要因为硼的分凝系数为0.8，接近于1。在拉晶过程中分布均匀，电阻率容易控制，可做出绝大部分符合产品电阻率性能的单晶硅。但是由于B—O对作为光致衰减的主要复合体影响了组件产品的周期性能。
镓主要因为其对光衰无影响，成为目前单晶硅生产工艺得主要掺杂，可是由于其分凝系数极小，成品电阻率分布区间大，符合产品电阻率要求部分较少而制约其使用发展。